별표 7의2 신에너지 및 재생에너지를 생산하기 위한 시설을 제조하는 시설(제13조의11제4항 관련)

■ 조세특례제한법 시행규칙 [별표 7의2] 신에너지 및 재생에너지를 생산하기 위한 시설을 제조하는 시설 (제13조의11제4항 관련) ┌───────┬───────────┬───────────────────────┐ │구 분 │시설내용 │적용범위 │ ├───────┼───────────┼───────────────────────┤ │ 1. 태양광설비│가. 태양전지용 다결정 │1. 삼염화실란 생산용 염화공정 장치 │ │ │실리콘 제조설비 │(Tri-chloro Silane Chlorinator Facilities) │ │ │ │2. 삼염화실란 정제 공정 장치 (Tri-chloro │ │ │ │Silane Purifier Facilities) │ │ │ │3. 폴리실리콘 생산용 화학 증착 반응 장치 │ │ │ │(Polysilicon Chemical Vapor Deposition │ │ │ │Reactor Facilities) │ │ │ │4. 삼염화실란 폐가스 회수 장치 (Tri-chloro │ │ │ │Silane Vent Gas Recycling Facilities) │ │ │ │5. 실리콘테트라플로라이드 생산용 제조 설 │ │ │ │비(SiF4 Production Facilities) │ │ │ │6. 소듐알류미늄하이드라이드 생산용 제조 │ │ │ │설비(NaAlH4 Production Facilities) │ │ │ │7. 모노실란 제조 설비(SiH4 Production │ │ │ │Facilities) │ │ │ │8. 모노실란 고순도 정제 설비(SiH4 Purifier │ │ │ │Facilities) │ │ │ │9. 폴리실리콘 생산용 화학 증착 반응 장치 │ │ │ │(Polysilicon Chemical Vapor Deposition │ │ │ │Reactor Facilities) │ │ │ │10. 모노실란 폐가스 회수 장치(SiH4 Vent │ │ │ │Gas Recycling Facilities) │ │ ├───────────┼───────────────────────┤ │ │나. 태양광전지용 실리 │1. 단결정성장로(Grower) │ │ │콘웨이퍼 제조설비 │2. 다결정성장로 (Multicrystalline Casting │ │ │ │Furnace) │ │ │ │3. 크로핑소 (Cropping Saw) │ │ │ │4. 면연마기 (Rotary Grinding System) │ │ │ │5. 곡면 또는 평면용 면취기 (R/C Grinder, │ │ │ │R/C Cutter) │ │ │ │6. 사각기 (Squaring Machine) │ │ │ │7. 와이어소 (Multi Wire Sawer) │ │ │ │8. 슬러리재생설비 (Slurry Recycling │ │ │ │System) │ │ │ │9. 웨이퍼세정기 (Cleaning System) │ │ │ │10. 전자수명 측정장치 (Minority Carrier │ │ │ │Lifetime Measurement System) │ │ │ │11. 웨이퍼 저항측정기 (Resistivity Tester for │ │ │ │Wafer) │ │ ├───────────┼───────────────────────┤ │ │다. 태양전지 제조설비 │1. 웨이퍼 검사 장비(Wafer Inspection) │ │ │ │2. 표면 식각 장비(Texturing) │ │ │ │3. 불순물 확산 장비(Diffusion) │ │ │ │4. 산화막 제거 장비(PSG Removal) │ │ │ │5. 반사방지막 증착 장비(PECVD) │ │ │ │6. 금속전극 형성 장비(Metallization) │ │ │ │7. 전극 소성 장비(Firing) │ │ │ │8. 레이저 절연 장비(Isolation) │ │ │ │9. 셀 검사/분류 장비(Cell Tester/Sorter) │ │ │ │10. 공정 자동화 장비(Automation) │ │ ├───────────┼───────────────────────┤ │ │라. 태양광모듈 제조설 │1. 라미네이터 (Laminator) │ │ │비 │2. 유리세척기 (Glass Washer) │ │ │ │3. 태양전지성능측정기 (Cell Tester) │ │ │ │4. 스트링ㆍ테버장비 (String & Tabber) │ │ │ │5. 레이업머신 (Lay-up M/C) │ │ │ │6. 태양전지 또는 모듈성능측정기 │ │ │ │(Simulator) │ │ │ │7. 프레이밍머신 (Framing M/C) │ │ │ │8. 큐어링 오븐 (Curing Oven) │ │ │ │9. 내구성 시험용 오븐 (Oven for Cycling │ │ │ │Test) │ │ │ │10. 레이저 스크라이버 (Laser Scriber) │ │ │ │11. 박막 실리콘 태양전지용 화학기상증착장 │ │ │ │비 (Chemical Vapor Deposition) │ │ │ │12. 박막 실리콘 태양전지용 스퍼터링 장비 │ │ │ │(Sputter) │ │ │ │13. 박막 실리콘 태양전지용 글라스 반송 시 │ │ │ │스템 │ │ │ │ (Glass Transfer System) │ │ │ │14. 박막 실리콘 태양전지용 에지 트리머 │ │ │ │(Edge Trimmer) │ │ │ │15. 정션박스 어셈블리 시스템 (Junction Box │ │ │ │Assembly System) │ │ │ │16. 빛조사 열화장치 (Light Soaking │ │ │ │System) │ ├───────┼───────────┼───────────────────────┤ │ 2. 풍력설비 │풍력발전용 발전기 제 │1. 풍력발전기 조립 대차(Travelling Car for │ │ │조설비 │Windturbine Assembly) │ │ │ │2. 동기발전기 시험기 (Synchronous │ │ │ │Generator Tester) │ │ │ │3. 풍력발전기 조립 시험기 (Assembly │ │ │ │Tester for Windturbine) │ │ │ │4. 로터허브 조립 시험기(Assembly Tester │ │ │ │for Rotor Hub) │ │ │ │5. 레이저 트래커 (3D Measurement │ │ │ │Machine) │ │ │ │6. 피치베어링 볼트조립 로봇 (Bolting Robot │ │ │ │for Pitch Bearing) │ ├───────┼───────────┼───────────────────────┤ │ 3. 수력설비 │소수력발전용 수차 및 │1. 유전율 측정시험기 (Insulating Diagnosis │ │ │발전기 제조설비 │& Analysis System) │ │ │ │2. 부분방전 시험기 (Partial Discharge │ │ │ │Detector) │ └───────┴───────────┴───────────────────────┘